Semicon 56 – 57 Highlights 2025 Stickstoffverbrauch um bis zu 18 % senken Bereits eine kleine Einsparung pro FOUP wirkt sich positiv auf die ganze Fabrik aus. Die Berechnung der Festo Experten zeigt, dass sich durch den Einsatz neuer Technologien die Menge des eingesetzten Stickstoffs auf das absolut notwendige Minimum senken lässt. Die innovative Lösung von Festo reduziert den Stickstoffverbrauch für die FOUPs durch eine gezielte Regelung des Spülvorgangs um 75 %. Nach nur drei Monaten hat sich die Investition amortisiert. Verifizierte Beispielrechnung IST-Zustand: Eine Anlage mit 10.000 FOUPs ohne N2-PurgeSystem von Festo verbraucht bis zu 550.000 Tonnen Stickstoff pro Jahr. Eingesparte Menge N2 durch das N2-Purge-System Durch die Verwendung eines geregelten Durchflusses kann die Durchflussmenge von 20 nl/min auf 5 nl/min (Normliter pro Minute) pro FOUP reduziert werden. Damit ergibt sich ein reduzierter, permanenter Durchfluss von 15 nl/min in der Anlage. » Durch die Reduktion der Durchflussmenge lassen sich bis zu 75 % pro FOUP einsparen, dadurch reduziert sich der gesamte Stickstoffverbrauch der Fabrik um bis zu 18 %. Blick in eine Halbleiterfabrik mit Over Head Transport System (OHT), das vollautomatisch FOUPs mit den Substraten/Wafern auf die Produktionsmaschinen aufsetzt. Durchflussregler VEAD Der kostengünstige, vormontierte Durchflussregler für CDA und Inertgase versorgt den Behälter der Wafer (FOUP) permanent mit inertem Stickstoff – und verhindert so, dass Sauerstoff die Wafer oxidieren lässt. Massendurchflussregler VEFC Der kompakte Durchflussregler für inerte Gase verfügt über alle Vorteile von Piezoventilen: höchste Dynamik, stufenlose Präzision, geringer Stromverbrauch, stabiler Durchfluss ohne manuelles Nachstellen. Beispiele für Festo Ventile mit Piezotechnologie
RkJQdWJsaXNoZXIy NzczNDE0