Semiconductores 56 – 57 Aspectos más destacados 2025 Reduzca el consumo nitrógeno hasta un 18 % Incluso un pequeño ahorro por FOUP tiene un efecto positivo en toda la fábrica. Los cálculos de los expertos de Festo muestran que la cantidad de nitrógeno utilizada puede reducirse al mínimo necesario absoluto mediante el uso de nuevas tecnologías. La innovadora solución de Festo reduce el consumo de nitrógeno de los FOUP en un 75 % gracias al control selectivo del proceso de lavado. La inversión se amortizó en sólo tres meses. Cálculo de ejemplo verificado Estado REAL: Una planta con 10 000 FOUPs N2 Purge System de Festo consume hasta 550 000 toneladas de nitrógeno al año. Cantidad de N2 ahorrada con el N2 Purge System Utilizando un caudal regulado, el caudal puede reducirse de 20 nl/min a 5 nl/min (litros estándar por minuto) por FOUP. El resultado es un caudal reducido y permanente de 15 nl/min en el sistema. » Mediante la reducción del caudal, se puede ahorrar hasta un 75 % por FOUP, lo que reduce el consumo total de nitrógeno de la fábrica hasta un 18 %. Regulador de caudal VEAD El económico regulador de caudal premontado para CDA y gases inertes abastece de forma constate el depósito de la oblea (FOUP) con nitrógeno interno evitando que el oxígeno oxide la oblea. Regulador de caudal másico VEFC El regulador de caudal compacto para gases inertes cuenta con todas las ventajas de las válvulas piezoeléctricas: máxima dinámica, precisión infinitamente variable, bajo consumo de energía, caudal estable sin ajuste manual. Ejemplos para válvulas de Festo con tecnología piezoeléctrica Vista de una fábrica de semiconductores con sistema de transporte elevado (OHT), que coloca automáticamente los FOUP con los sustratos/obleas en las máquinas de producción.
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