Page 11 - Advanced Handling Systems

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Vereinzeln und Prüfen
Herausforderung
Wafer in hoher Geschwindigkeit
beschädigungsfrei vereinzeln
und visuell prüfen.
Lösung
H-Portal für die Vereinzelung
und Kompaktkamerasystem
SBO..-Q für die Prüfung.
Prüfen und Stapeln
Herausforderung
Wafer taktzeitoptimiert und
schonend entladen, stapeln,
prüfen und qualifizieren.
Lösung
Prüfung mit Kompaktkamera-
system SBO..-Q, stapeln in
Blisterboxen mit H-Portal und
Hub-Dreh-Modul – je nach
Konfiguration für bis zu 5000
Wafer pro Stunde.
Intersolar Award 2010
Einbauraum-Vergleich
Systemfunktionen
1
Das Greifsystem wird exakt
über dem Magazin positioniert
2
Bernoulli-Greifer entnimmt
den Wafer quasi berührungslos
aus dem Magazin
3
Der Wafer wird über dem
intelligenten Kompaktkamera-
system positioniert und geprüft:
• Exakte Lageorientierung
• Qualität der Kontur und der
Kanten
4
Hub-Dreh-Modul dreht und
positioniert den Wafer exakt
zur jeweiligen Bandspur
5
Wafer wird in definierter
Sequenz auf die laufenden
Bänder abgelegt
6
Komplette hochdynamische
Positionssteuerung über
Robotiksteuerung CMXR
Arbeitsraum H-Portal
Arbeitsraum 2 SCARA
In der Solarmodulherstellung
5
4
1
2
3
6